10月18日，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期股份有限公司(下稱“大基金二期”)再度出手，加碼布局半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備。

18日盤后，至純科技(603690.SH)公告稱，控股子公司至微半導(dǎo)體(上海)有限公司(下稱 “至微科技”)擬引入戰(zhàn)略投資者，大基金二期和混改基金、中芯國(guó)際(688981.SH)等入股。

值得注意的是，這是10月以來(lái)，大基金的首筆投資計(jì)劃。就在上周末，兆易創(chuàng)新、晶方科技披露了大基金對(duì)公司的減持計(jì)劃。

大基金二期、中芯國(guó)際入股至微科技

根據(jù)公告，本次交易前，至微科技注冊(cè)資本為4.55億元，依據(jù)增資前至微科技25億元的估值，對(duì)應(yīng)5.4945元/注冊(cè)資本，共計(jì)10家戰(zhàn)略投資者擬合計(jì)向至微科技增資4.2億元，其中7644萬(wàn)元計(jì)入注冊(cè)資本，其余3.44億元計(jì)入資本公積。

本次增資的同時(shí)，至純科技將持有的至微科技對(duì)應(yīng)本次增資4.2億元后的7.95%的股權(quán)以23,200萬(wàn)元轉(zhuǎn)讓給遠(yuǎn)致星火，其中4222.40萬(wàn)元計(jì)入至微科技注冊(cè)資本，18977.60萬(wàn)元計(jì)入資本公積。在本次遠(yuǎn)致星火受讓股權(quán)的過(guò)程中，所有其他投資人均無(wú)條件放棄行使作為公司股東的優(yōu)先購(gòu)買權(quán)。

定期報(bào)告顯示，至純科技主要有三大業(yè)務(wù)板塊：高純工藝系統(tǒng)、半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備、光纖傳感器及光電子元器件。

其中，至微科技是承載至純科技“從工藝裝備支持系統(tǒng)到工藝裝備”、投入濕法設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的主體，累計(jì)已獲得濕法設(shè)備訂單超過(guò)160臺(tái)，成為國(guó)內(nèi)濕法設(shè)備的主要供應(yīng)商之一。

根據(jù)財(cái)報(bào)，2020年，至純科技濕法設(shè)備出貨量超過(guò)30臺(tái)，新增訂單5.3億元，增長(zhǎng)211.8%。至純科技表示，公司28nm節(jié)點(diǎn)全部濕法工藝設(shè)備已認(rèn)證完畢，用戶有中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、華為、華潤(rùn)、燕東、臺(tái)灣力晶等等。

國(guó)內(nèi)目前有三家在濕法工藝設(shè)備端提供中高階濕法制程設(shè)備，分別是至純科技、北方華創(chuàng)(002371.SZ)和盛美半導(dǎo)體。目前，盛美半導(dǎo)體的科創(chuàng)板IPO已經(jīng)注冊(cè)生效。

此外，上述10家戰(zhàn)略投資方不乏多個(gè)國(guó)資背景基金及科創(chuàng)板上市公司，包括大基金二期、混改基金、上海半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金合伙企業(yè)(有限合伙)，以及中芯國(guó)際旗下投資主體中芯聚源。

科創(chuàng)數(shù)據(jù)研究中心的研報(bào)顯示，截至目前，中芯國(guó)際已通過(guò)旗下中芯聚源投資了近20家已上市或IPO進(jìn)程中的半導(dǎo)體企業(yè)，包括滬硅產(chǎn)業(yè)-U(688126.SH)、芯碁微裝(688630.SH)、芯朋微(688508.SH)、利揚(yáng)芯片(688135.SH)、格科微(688728.SH)等半導(dǎo)體上市企業(yè);蘇州東微半導(dǎo)體、唯捷創(chuàng)芯等IPO進(jìn)程中的半導(dǎo)體企業(yè)。

大基金一期有序退出、二期持續(xù)加碼

今年以來(lái)，隨著大基金一期的投資退出期已至，多家半導(dǎo)體龍頭股均被大基金一期實(shí)施了減持。另一邊，大基金二期仍在有序投資半導(dǎo)體設(shè)備、材料等核心環(huán)節(jié)。

10月15日晚間，晶方科技(603005.SH)、兆易創(chuàng)新(603986.SH)發(fā)布公告稱，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司(下稱“大基金一期”)將減持公司股份。10月18日，半導(dǎo)體板塊走弱，晶方科技收跌3.61%，報(bào)44.27元;兆易創(chuàng)新收跌4.01%元，報(bào)149.31元。

根據(jù)公告，大基金擬計(jì)劃自2021年11月6日至2022年2月5日減持晶方科技不超過(guò)408萬(wàn)股，即不超過(guò)公司總股本的1%;擬減持兆易創(chuàng)新股份數(shù)量不超過(guò)公司股份總數(shù)1%，即665.73萬(wàn)股。而按照目前股價(jià)計(jì)算，大基金減持上述兩只股累計(jì)套現(xiàn)超10億。

這并不是大基金一期年內(nèi)首次減持上述兩只半導(dǎo)體股。今年一季度，大基金一期減持了晶方科技13.54萬(wàn)股、減持了兆易創(chuàng)新276.04萬(wàn)股。

截至目前，大基金一期持有兆易創(chuàng)新3509萬(wàn)股，占總股本比重5.27%。若本次減持實(shí)施完畢，大基金一期持股兆易創(chuàng)新比例將不足5%。

一個(gè)多月前，三安光電(600703.SH)、雅克科技(002409.SZ)、萬(wàn)業(yè)企業(yè)(600641.SH)3只半導(dǎo)體股公告稱，大基金計(jì)劃減持公司股份。

據(jù)記者不完全統(tǒng)計(jì)，自2019年12月以來(lái)，除了上述幾只股以外，長(zhǎng)電科技(600584.SH)、北斗星通(002151.SZ)、國(guó)科微(300672.SZ)、瑞芯微(603893.SH)、通富微電(002156.SZ)、太極實(shí)業(yè)(600667.SH)、匯頂科技(603160.SH)等半導(dǎo)體股均披露過(guò)大基金一期的減持計(jì)劃。、

根據(jù)大基金的投資規(guī)劃，2014~2019年為投資密集期，2020~2024年為回收期，2025~2029年為發(fā)展期。從大基金一期的動(dòng)作來(lái)看，基本按照原定的時(shí)間規(guī)劃進(jìn)行。

“可以看到的是，大基金一期的減持方向主要圍繞半導(dǎo)體封測(cè)和設(shè)計(jì)。近年來(lái)，在大基金的資金支持下，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體封測(cè)和設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)的企業(yè)保持了良好的發(fā)展節(jié)奏，年內(nèi)業(yè)績(jī)表現(xiàn)均兌現(xiàn)了市場(chǎng)預(yù)期。投資退出屬于正常的基金運(yùn)作，不會(huì)對(duì)企業(yè)的中長(zhǎng)期發(fā)展形成影響。”一位TMT行業(yè)的分析師對(duì)記者說(shuō)。

與此同時(shí)，從上述大基金二期入股半導(dǎo)體濕法設(shè)備的例子中可以看出，大基金二期投資覆蓋設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、材料、設(shè)備等環(huán)節(jié)的同時(shí)，更側(cè)重投入到更薄弱的設(shè)備和材料兩大環(huán)節(jié)。